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无氢类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积

朱纪军 陆祖宏 左敦稳 王珉

机械科学与技术2000，Vol.19Issue(1)：125-127,3.
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机械科学与技术2000，Vol.19Issue(1)：125-127,3.

无氢类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积

朱纪军 1陆祖宏 2左敦稳 3王珉3

作者信息

  • 1. 东南大学
  • 2. 南京航空航空大学
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摘要

关键词

无氢/类金刚石薄膜/过滤式/阴极电弧沉积

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

朱纪军,陆祖宏,左敦稳,王珉..无氢类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积[J].机械科学与技术,2000,19(1):125-127,3.

机械科学与技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1003-8728

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