光学精密工程2003，Vol.11Issue(2)：125-129,5.
基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统
Micro-machining system based on AFM
摘要
关键词
AFM/微加工/串口通讯分类
机械制造引用本文复制引用
夏加飞,孙涛,闫永达,梁迎春,程凯,董申..基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统[J].光学精密工程,2003,11(2):125-129,5.基金项目
863MEMS专项基金(No.2002AA404120),海外青年学者合作研究基金(No.50028504)及航天支撑基金资助(No.2001-HT-HGD) （No.2002AA404120）
