红外与毫米波学报2004，Vol.23Issue(2)：125-130,6.
一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作
DESIGN AND FABRICATION OF A NOVEL OPTICALLY READABLE THERMAL IMAGING SYSTEM BASED ON MEMS TECHNOLOGY
摘要
关键词
微电子机械技术/光读出热成像/Fabry-Perot微腔红外探测器列阵/噪声等效温差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
冯飞,焦继伟,熊斌,王跃林..一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作[J].红外与毫米波学报,2004,23(2):125-130,6.基金项目
国家"九七三"集成微光机电系统研究资助项目(G1999033101) （G1999033101）
