光学精密工程2007，Vol.15Issue(8)：1263-1268,6.
利用图像处理技术评价硅片表面清洗率
Evaluation of efficiency for silicon wafer cleaning by image processing
摘要
关键词
激光清洗/硅片/清洗率/图像处理分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王续跃,许卫星,司马媛,吴东江,康仁科,郭东明..利用图像处理技术评价硅片表面清洗率[J].光学精密工程,2007,15(8):1263-1268,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52090101) （No.52090101）
国家"863"高技术计划资助项目(No.2002AA421230) （No.2002AA421230）
