传感技术学报2008，Vol.21Issue(7)：1269-1272,4.
基于电镀技术的微间隔制作及其在气体检测中应用的研究
Fabrication of Micro Gap by Electroplating and the Applications to Gas Detecting
摘要
关键词
气体传感器/微间隙/在线监测/气体电离/击穿电压分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
袁青,林辉,于晶,郭希山,杨深,吴坚..基于电镀技术的微间隔制作及其在气体检测中应用的研究[J].传感技术学报,2008,21(7):1269-1272,4.基金项目
国家自然基金资助"液态电极等离子体光谱技术及在金属离子检测中应用的研究"(30670535) （30670535）
浙江省科技攻关项目资助"基于纳米技术的物理型气体检测微系统的研究"(2006C21029) （2006C21029）
