无机材料学报2005，Vol.20Issue(5)：1270-1274,5.
硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响
Effects of Boron Doping on the Growth Characteristic of Diamond Film
摘要
关键词
孪晶/HFCVD/硼掺杂/金刚石薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
刘卫平,余庆选,田宇全,廖源,王冠中,方容川..硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响[J].无机材料学报,2005,20(5):1270-1274,5.基金项目
国家自然科学基金(60176024) （60176024）
中科院知识创新方向性课题(KJCX2-SW-04-02) （KJCX2-SW-04-02）
