中国机械工程2009，Vol.20Issue(11)：1270-1275,6.
一种音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析
Analysis of Performance Variation of a Tuning Fork Vibratory MEMS Gyroscope
摘要
关键词
微机械/陀螺/性能变异/检测电容/加工误差分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王安麟,文永蓬,姜涛,刘钊,刘广军..一种音叉振动式微机械陀螺的性能变异分析[J].中国机械工程,2009,20(11):1270-1275,6.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z303) （2006AA04Z303）
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20070247006) （20070247006）
中国博士后科学基金资助项目(20080430687) （20080430687）
国家自然科学基金资助项目(50805106) （50805106）
