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薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨

李志贤 赵彦钊 张方辉

硅酸盐通报2008,Vol.27Issue(6):1271-1273,1277,4.
硅酸盐通报2008,Vol.27Issue(6):1271-1273,1277,4.

薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨

Protection Performance Study on Al Electrode of Se Film

李志贤 1赵彦钊 1张方辉2

作者信息

  • 1. 陕西科技大学材料科学与工程学院,西安,710021
  • 2. 陕西科技大学电子与信息工程学院,西安,710021
  • 折叠

摘要

关键词

电阻变化率/稳定性/Al薄膜/Al/Se薄膜

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

李志贤,赵彦钊,张方辉..薄膜Se对薄膜Al电极的防护作用探讨[J].硅酸盐通报,2008,27(6):1271-1273,1277,4.

基金项目

陕西省专利产业化项目(2005ZZ-04) (2005ZZ-04)

陕西省教育厅产业化项目(06JC23) (06JC23)

陕西省教育厅专项科研计划项目(07JK191) (07JK191)

硅酸盐通报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-1625

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