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短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制

刘院省 刘世炳 陈涛

强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(8):1271-1274,4.
强激光与粒子束2007,Vol.19Issue(8):1271-1274,4.

短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制

Mechanism of ablation in short-pulse laser-copper target interaction

刘院省 1刘世炳 1陈涛1

作者信息

  • 1. 北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022
  • 折叠

摘要

关键词

皮秒脉冲激光/铜靶/平衡刻蚀/数值模拟

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘院省,刘世炳,陈涛..短脉冲激光刻蚀加工铜材料的机制[J].强激光与粒子束,2007,19(8):1271-1274,4.

基金项目

高等学校博士学科点专项基金资助课题 ()

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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