现代制造工程Issue(11)：127-131,5.
大尺寸集成电路和硅片表面加工技术
Surface machining technique of large size silicon in integrate circuit
陈杰 1高诚辉1
作者信息
- 1. 福州大学机械工程及自动化学院,福州,350002
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摘要
关键词
硅片表面加工/ELID磨削/工件旋转式磨削/化学机械抛光分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈杰,高诚辉..大尺寸集成电路和硅片表面加工技术[J].现代制造工程,2007,(11):127-131,5.
