机械科学与技术2007，Vol.26Issue(10)：1277-1280,4.
射频磁控溅射法制备类金刚石薄膜的研究
Investigation on Diamond-like Carbon Films Prepared by RF Magnetron Reactive Sputtering
摘要
关键词
射频磁控溅射/类金刚石薄膜/增透分类
通用工业技术引用本文复制引用
赵海龙,刘正堂,田浩,李阳平,闫锋..射频磁控溅射法制备类金刚石薄膜的研究[J].机械科学与技术,2007,26(10):1277-1280,4.基金项目
航空科学基金项目(04G53043)资助 （04G53043）
