强激光与粒子束2009,Vol.21Issue(9):1281-1285,5.
TEA CO2激光器预电离结构电极系统的电场研究
Field uniformity of electrode system with preionization structure for TEA CO2 laser
安然 1谭荣清 2郭亚丁 2郑义军 1陈静2
作者信息
- 1. 中国科学院,电子学研究所,北京,100190
- 2. 中国科学院,研究生院,北京,100049
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摘要
关键词
TEA CO2激光器/气体放电/印刷电路板预电离/均匀场电极/电场计算分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
安然,谭荣清,郭亚丁,郑义军,陈静..TEA CO2激光器预电离结构电极系统的电场研究[J].强激光与粒子束,2009,21(9):1281-1285,5.