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TEA CO2激光器预电离结构电极系统的电场研究

安然 谭荣清 郭亚丁 郑义军 陈静

强激光与粒子束2009,Vol.21Issue(9):1281-1285,5.
强激光与粒子束2009,Vol.21Issue(9):1281-1285,5.

TEA CO2激光器预电离结构电极系统的电场研究

Field uniformity of electrode system with preionization structure for TEA CO2 laser

安然 1谭荣清 2郭亚丁 2郑义军 1陈静2

作者信息

  • 1. 中国科学院,电子学研究所,北京,100190
  • 2. 中国科学院,研究生院,北京,100049
  • 折叠

摘要

关键词

TEA CO2激光器/气体放电/印刷电路板预电离/均匀场电极/电场计算

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

安然,谭荣清,郭亚丁,郑义军,陈静..TEA CO2激光器预电离结构电极系统的电场研究[J].强激光与粒子束,2009,21(9):1281-1285,5.

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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