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沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究

邓海东 吴木生 徐初东 罗志环 徐海涛 杨小红 叶志清

江西科学2007,Vol.25Issue(2):128-131,4.
江西科学2007,Vol.25Issue(2):128-131,4.

沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究

The Influence of Growing Temperature in the ZnO Thin Film Deposited by PLD

邓海东 1吴木生 2徐初东 1罗志环 1徐海涛 1杨小红 1叶志清2

作者信息

  • 1. 华南农业大学理学院应用物理系,广东,广州,510642
  • 2. 江西师范大学物理与通信电子学院,江西,南昌,330027
  • 折叠

摘要

关键词

脉冲激光沉积技术(PLD)/X射线衍射仪(XRD)/半高宽度(FWHM)

分类

数理科学

引用本文复制引用

邓海东,吴木生,徐初东,罗志环,徐海涛,杨小红,叶志清..沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究[J].江西科学,2007,25(2):128-131,4.

江西科学

1001-3679

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