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半导体学报
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重掺硅中氧的测定
重掺硅中氧的测定
刘培东
黄笑容
沈益军
李立本
阙端麟
半导体学报
2001，Vol.22
Issue(10)：1284-1286,3.
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半导体学报
2001，Vol.22
Issue(10)
：1284-1286,3.
重掺硅中氧的测定
Determination of Oxygen in Heavily Doped CZ-Silicon
刘培东
1
黄笑容
1
沈益军
1
李立本
1
阙端麟
1
作者信息
1.
浙江大学
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摘要
关键词
硅中氧
/
气体熔化分析法
/
红外光谱
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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刘培东,黄笑容,沈益军,李立本,阙端麟..重掺硅中氧的测定[J].半导体学报,2001,22(10):1284-1286,3.
半导体学报
OA
北大核心
CSCD
ISSN：
1674-4926
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