物理学报2003，Vol.52Issue(5)：1287-1291,5.
ECR-CVD制备的非晶SiOxNy薄膜的光致蓝光发射
Blue photoluminescence of a-SiOxNy films prepared by ECR-CVD
摘要
关键词
ECR-CVD,红外吸收光谱/非晶氮化硅薄膜,光致发光分类
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许圣华,辛煜,宁兆元,程珊华,黄松,陆新华,项苏留,陈军..ECR-CVD制备的非晶SiOxNy薄膜的光致蓝光发射[J].物理学报,2003,52(5):1287-1291,5.基金项目
苏州大学江苏省薄膜材料重点实验室(批准号:T2108102)资助的课题. （批准号:T2108102）
