强激光与粒子束2005,Vol.17Issue(9):1289-1293,5.
K9基片的亚表面损伤探测及化学腐蚀处理技术研究
Studies on subsurface damage detection and wet-etching process of K9 optics
摘要
关键词
化学腐蚀/亚表面缺陷/激光损伤阈值/重沉积层分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈宁,张清华,许乔,王世健,段利华..K9基片的亚表面损伤探测及化学腐蚀处理技术研究[J].强激光与粒子束,2005,17(9):1289-1293,5.基金项目
中国工程物理研究院科学技术基金面上资助课题(20030216) (20030216)