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K9基片的亚表面损伤探测及化学腐蚀处理技术研究

陈宁 张清华 许乔 王世健 段利华

强激光与粒子束2005,Vol.17Issue(9):1289-1293,5.
强激光与粒子束2005,Vol.17Issue(9):1289-1293,5.

K9基片的亚表面损伤探测及化学腐蚀处理技术研究

Studies on subsurface damage detection and wet-etching process of K9 optics

陈宁 1张清华 1许乔 1王世健 1段利华2

作者信息

  • 1. 成都精密光学工程研究中心,四川,成都,610041
  • 2. 重庆大学,数理学院,物理系,重庆,400044
  • 折叠

摘要

关键词

化学腐蚀/亚表面缺陷/激光损伤阈值/重沉积层

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈宁,张清华,许乔,王世健,段利华..K9基片的亚表面损伤探测及化学腐蚀处理技术研究[J].强激光与粒子束,2005,17(9):1289-1293,5.

基金项目

中国工程物理研究院科学技术基金面上资助课题(20030216) (20030216)

强激光与粒子束

OA北大核心CSCD

1001-4322

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