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脉冲激光沉积法生长Zn1-xMgxO薄膜

邹璐 叶志镇 黄靖云 赵炳辉

半导体学报2002,Vol.23Issue(12):1291-1294,4.
半导体学报2002,Vol.23Issue(12):1291-1294,4.

脉冲激光沉积法生长Zn1-xMgxO薄膜

Growth of Zn1-xMgxO Films by Pulsed Laser Deposition

邹璐 1叶志镇 1黄靖云 1赵炳辉1

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
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摘要

关键词

Zn1-xMgxO薄膜/合金/X射线衍射/PL谱

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

邹璐,叶志镇,黄靖云,赵炳辉..脉冲激光沉积法生长Zn1-xMgxO薄膜[J].半导体学报,2002,23(12):1291-1294,4.

基金项目

国家重大基础研究规划973资助项目(编号:G2000068306) (编号:G2000068306)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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