中国机械工程2005，Vol.16Issue(14)：1292-1295,4.
拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试
Applications of Raman Spectroscopy in Stress Performance Measurement of Micro-cantilever
摘要
关键词
微结构/应力/拉曼光谱/悬臂梁/质量块分类
机械制造引用本文复制引用
熊继军,张文栋,薛晨阳,桑胜波,周兆英..拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试[J].中国机械工程,2005,16(14):1292-1295,4.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404040) （2004AA404040）
