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开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关

贾孟军 李昕欣 宋朝晖 王跃林

半导体学报2007，Vol.28Issue(8)：1295-1301,7.
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半导体学报2007，Vol.28Issue(8)：1295-1301,7.

开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关

MEMS Shocking-Acceleration Switch with Threshold Modulating and On-State Latching Function

贾孟军 1李昕欣 2宋朝晖 2王跃林2

作者信息

  • 1. 中国科学院研究生院,上海,200050
  • 2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS/冲击加速度开关/开关点电可调节/锁定/机电耦合

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

贾孟军,李昕欣,宋朝晖,王跃林..开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关[J].半导体学报,2007,28(8):1295-1301,7.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:60376038) （批准号:60376038）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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