吉林大学学报（信息科学版）2003，Vol.21Issue(1)：1-3,3.
降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法
Method for decreasing drive voltage of micromechanical optical switches in torsion beam structure
摘要
关键词
微机械/光开关/静电驱动/扭臂/阈值电压分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
董玮,阮圣平,张歆冬,刘彩霞,张龙,陈维友..降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法[J].吉林大学学报（信息科学版）,2003,21(1):1-3,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(69937010) （69937010）
吉林省科学计划发展项目(20010319) （20010319）
863计划资助项目(2002AA312023) （2002AA312023）
