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液相外延技术发展现状

赵绪然 裴广庆 杨秋红 夏长泰 徐军

人工晶体学报2006,Vol.35Issue(6):1307-1312,6.
人工晶体学报2006,Vol.35Issue(6):1307-1312,6.

液相外延技术发展现状

Research Progresses in Liquid Phase Epitaxy

赵绪然 1裴广庆 2杨秋红 3夏长泰 1徐军2

作者信息

  • 1. 上海大学电子信息材料系,上海,200072
  • 2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
  • 3. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

液相外延/系统/研究进展

分类

数理科学

引用本文复制引用

赵绪然,裴广庆,杨秋红,夏长泰,徐军..液相外延技术发展现状[J].人工晶体学报,2006,35(6):1307-1312,6.

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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