物理学报2001，Vol.50Issue(7)：1313-1318,6.
Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理
Diagnostic of RF Plasma by Using Langmuir Probe and Its Numerical Processing
摘要
关键词
Langmuir探针/二次微商/数值滤波/微分电路分类
数理科学引用本文复制引用
池凌飞,林揆训,姚若河,林璇英,余楚迎,余云鹏..Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理[J].物理学报,2001,50(7):1313-1318,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:19875033)资助的课题. （批准号:19875033）
