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聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究

赖建军 柯才军 周宏 易新建

华中科技大学学报(自然科学版)2004,Vol.32Issue(10):13-15,3.
华中科技大学学报(自然科学版)2004,Vol.32Issue(10):13-15,3.

聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究

Fabrication of polymer microlens array for monolithic integration application

赖建军 1柯才军 1周宏 1易新建1

作者信息

  • 1. 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074
  • 折叠

摘要

关键词

聚合物/微透镜/反应离子刻蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赖建军,柯才军,周宏,易新建..聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究[J].华中科技大学学报(自然科学版),2004,32(10):13-15,3.

基金项目

中国博士后基金资助项目(2002031254). (2002031254)

华中科技大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

1671-4512

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