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用飞行时间二次离子质谱法分析模塑料成分

潘艺永 李越生 陈维孝 宗祥福

分析测试学报1999,Vol.18Issue(1):13-16,4.
分析测试学报1999,Vol.18Issue(1):13-16,4.

用飞行时间二次离子质谱法分析模塑料成分

Characterization of Molding Material by Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry

潘艺永 1李越生 1陈维孝 2宗祥福2

作者信息

  • 1. 复旦大学材料科学系
  • 折叠

摘要

关键词

银离化/模塑料/环氧树脂/集成电路/TOF/SIMS

分类

化学化工

引用本文复制引用

潘艺永,李越生,陈维孝,宗祥福..用飞行时间二次离子质谱法分析模塑料成分[J].分析测试学报,1999,18(1):13-16,4.

分析测试学报

OACSCD

1004-4957

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