强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(1)：13-16,4.
用激光微细加工制作平面型InGaAs/InP PIN 光探测器
Fabrication of Planar InGaAs/InP PIN photodiodes using laser assisted microprocessing
摘要
关键词
激光微细加工/单片集成光接收机/PIN 光探测器/激光诱导扩散分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
吴云峰,廖云,叶玉堂,焦世龙,张雪琴..用激光微细加工制作平面型InGaAs/InP PIN 光探测器[J].强激光与粒子束,2005,17(1):13-16,4.基金项目
国家自然科学基金资助课题(60277008) （60277008）
教育部重点科技项目资助课题(03147) （03147）
中国电子科技集团电子科学研究院资助课题 （）
