量子电子学报2005,Vol.22Issue(1):13-18,6.
测量薄膜折射率的几种方法
Several methods of measuring the refractive index of the film
摘要
关键词
薄膜光学/折射率/聚合物薄膜/椭偏法/准波导分类
化学化工引用本文复制引用
孙香冰,任诠,杨洪亮,冯林,Y.T.Chow..测量薄膜折射率的几种方法[J].量子电子学报,2005,22(1):13-18,6.基金项目
本研究工作得到国家自然科学基金(60377016、50272037和60476020)、国家高技术863计划(2002AA313070)和山东大学晶体材料国家重点实验室开放经费的资助. (60377016、50272037和60476020)