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MOCVD生长GaAs/AlGaAs掺杂量子异质结构工艺评价

任红文

人工晶体学报Issue(2):132,1.
人工晶体学报Issue(2):132,1.

MOCVD生长GaAs/AlGaAs掺杂量子异质结构工艺评价

任红文1

作者信息

  • 1. 不详;不详
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摘要

关键词

化学汽相沉积/晶体/砷化镓/AlGaAs

分类

化学化工

引用本文复制引用

任红文..MOCVD生长GaAs/AlGaAs掺杂量子异质结构工艺评价[J].人工晶体学报,1993,(2):132,1.

人工晶体学报

OACSCD

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