物理学报2001，Vol.50Issue(7)：1324-1328,5.
离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响
Influence of Ion Energy and Deposition Temperature on the Surface Morphology of Carbon Films Deposited by Ion Beans
廖梅勇 1秦复光 1柴春林 1刘志凯 1杨少延 1姚振钰 1王占国1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室, 北京 100083
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摘要
关键词
非晶碳/表面形貌/质量分离低能离子束分类
数理科学引用本文复制引用
廖梅勇,秦复光,柴春林,刘志凯,杨少延,姚振钰,王占国..离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响[J].物理学报,2001,50(7):1324-1328,5.
