半导体学报2006，Vol.27Issue(7)：1326-1330,5.
电子束重复增量扫描生成三维结构的研究
Three-Dimensional Fabrication by Electron Beam Lithography Using Overlapped Increment Scanning
摘要
关键词
DSP/图形发生器/电子束光刻/三维加工/灵敏度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
郝慧娟,张玉林,卢文娟,魏强..电子束重复增量扫描生成三维结构的研究[J].半导体学报,2006,27(7):1326-1330,5.基金项目
国家自然科学基金重大研究计划(批准号:90307003),山东省自然科学基金(批准号:Y2003G03)和山东省科技攻关计划基金(批准号:022090105)资助项目 （批准号:90307003）
