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退火温度对掺氮Zn0薄膜结构和光电特性的影响

钟声 徐小秋 孙利杰 林碧霞 傅竹西

半导体学报2008,Vol.29Issue(7):1330-1333,4.
半导体学报2008,Vol.29Issue(7):1330-1333,4.

退火温度对掺氮Zn0薄膜结构和光电特性的影响

Influence of the Annealing Temperature on the Structural and Optical Properties of N-Doped ZnO Films

钟声 1徐小秋 1孙利杰 1林碧霞 1傅竹西1

作者信息

  • 1. 中国科学技术大学物理系,合肥,230026
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摘要

关键词

热氧化/ZnO/XPS/受主能级

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

钟声,徐小秋,孙利杰,林碧霞,傅竹西..退火温度对掺氮Zn0薄膜结构和光电特性的影响[J].半导体学报,2008,29(7):1330-1333,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(批准号:50532070) (批准号:50532070)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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