传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1333-1336,4.
一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法
A Novel Transfer Method from 3D Model to 2D Mask Layout
摘要
关键词
MEMS CAD/三维实体/版图/接口分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐景辉,苑伟政,常洪龙,谢建兵..一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法[J].传感技术学报,2006,19(5):1333-1336,4.基金项目
863/MEMS重大专项资助项目(2005AA404240) （2005AA404240）
