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MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真

王展飞 鲁文高 李峰 李志宏

传感技术学报2008,Vol.21Issue(8):1337-1342,6.
传感技术学报2008,Vol.21Issue(8):1337-1342,6.

MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真

Theoretical Analysis and Numerical Simulation of Closed-Loop Self-Oscillation System for MEMS Vibratory Gyroscopes

王展飞 1鲁文高 1李峰 1李志宏1

作者信息

  • 1. 北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871
  • 折叠

摘要

关键词

自激振荡/MEMS陀螺/AGC/PI控制

分类

航空航天

引用本文复制引用

王展飞,鲁文高,李峰,李志宏..MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真[J].传感技术学报,2008,21(8):1337-1342,6.

基金项目

电子预研项目资助(微型陀螺信号读出与处理电路)(51308050201) (微型陀螺信号读出与处理电路)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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