半导体学报2003，Vol.24Issue(12)：1340-1344,5.
一个集成电路工艺诊断实例
An Example on IC Process Diagnosing
严利人 1李瑞伟 1徐春林1
作者信息
- 1. 清华大学微电子学研究所,北京,100084
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摘要
关键词
PCM(process control module)/工艺诊断/主成分分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
严利人,李瑞伟,徐春林..一个集成电路工艺诊断实例[J].半导体学报,2003,24(12):1340-1344,5.
