人工晶体学报2007,Vol.36Issue(1):134-137,145,5.
脉冲激光沉积法在SiO2/Si衬底上生长c轴取向LiTaO3薄膜
C-axis Oriented LiTaO3 Thin Film Prepared on SiO2/Si Substrate by Pulsed Laser Deposition
摘要
关键词
LiTaO3薄膜/SiO2/Si衬底/c轴取向/脉冲激光沉积分类
数理科学引用本文复制引用
王新昌,叶志镇,曹亮亮,赵炳辉..脉冲激光沉积法在SiO2/Si衬底上生长c轴取向LiTaO3薄膜[J].人工晶体学报,2007,36(1):134-137,145,5.基金项目
国家自然科学基金重大研究规划项目资助(No.90101009) (No.90101009)