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GaAs均匀点状结构的分子束外延图形生长

牛智川 周增圻

ACTA PHYSICA SINICAIssue(8)：1346-1353,8.
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ACTA PHYSICA SINICAIssue(8)：1346-1353,8.

GaAs均匀点状结构的分子束外延图形生长

牛智川 1周增圻1

作者信息

  • 1. 中国科学院半导体研究所
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摘要

关键词

腐蚀图形/砷化镓/分子束外延/图形生长

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

牛智川,周增圻..GaAs均匀点状结构的分子束外延图形生长[J].ACTA PHYSICA SINICA,1998,(8):1346-1353,8.

ACTA PHYSICA SINICA

OA北大核心CSCD

1000-3290

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