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改善GaAs MESFETs硫钝化稳定性研究的新探索

李亚丽 杨瑞霞 杨克武

电子器件2005,Vol.28Issue(1):135-137,3.
电子器件2005,Vol.28Issue(1):135-137,3.

改善GaAs MESFETs硫钝化稳定性研究的新探索

An New Research in Improving the Sulfur Passivation Stability of GaAs MESFETs

李亚丽 1杨瑞霞 1杨克武2

作者信息

  • 1. 河北工业大学信息工程学院,天津,300130
  • 2. 电子部第13研究所,石家庄,050051
  • 折叠

摘要

关键词

硫钝化/GaAs MESFETs/稳定性/PECVD SiNx

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李亚丽,杨瑞霞,杨克武..改善GaAs MESFETs硫钝化稳定性研究的新探索[J].电子器件,2005,28(1):135-137,3.

基金项目

军事预研基金资助项目(51432020103QT4501) (51432020103QT4501)

河北省自然科学基金资助项目(F2004000078). (F2004000078)

电子器件

OACSCD

1005-9490

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