南京大学学报(自然科学版)2009,Vol.45Issue(2):135-138,4.
磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析
X-ray diffraction analysis of Pt film prepared by magnetron sputtering method
刘超前 1李伟力 1费维栋1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001
- 折叠
引用本文复制引用
刘超前,李伟力,费维栋..磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析[J].南京大学学报(自然科学版),2009,45(2):135-138,4.