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磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析

刘超前 李伟力 费维栋

南京大学学报(自然科学版)2009,Vol.45Issue(2):135-138,4.
南京大学学报(自然科学版)2009,Vol.45Issue(2):135-138,4.

磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析

X-ray diffraction analysis of Pt film prepared by magnetron sputtering method

刘超前 1李伟力 1费维栋1

作者信息

  • 1. 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨,150001
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜/Pt/织构/X射线衍射

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘超前,李伟力,费维栋..磁控溅射Pt薄膜织构的X射线衍射分析[J].南京大学学报(自然科学版),2009,45(2):135-138,4.

南京大学学报(自然科学版)

OACSCDCSTPCD

0469-5097

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