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基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究

王国勋 纪新明 周嘉 包宗明 鲍敏杭 黄宜平

传感技术学报2008,Vol.21Issue(8):1352-1356,5.
传感技术学报2008,Vol.21Issue(8):1352-1356,5.

基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究

The Research of MEMS Infrared Radiation Source Characteristics Based on Surface Plasmon Resonance Effect

王国勋 1纪新明 1周嘉 1包宗明 1鲍敏杭 1黄宜平1

作者信息

  • 1. 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系,上海,200433
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摘要

关键词

表面等离子体效应/MEMS红外辐射源/光子晶体

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王国勋,纪新明,周嘉,包宗明,鲍敏杭,黄宜平..基于表面等离子体效应的MEMS红外辐射源特性研究[J].传感技术学报,2008,21(8):1352-1356,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(90607015) (90607015)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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