半导体学报2005，Vol.26Issue(7)：1359-1363,5.
Si/SiGe/Si-SOI异质结构的同步辐射双晶貌相术和高分辨三轴晶X射线衍射
Si/SiGe/Si-SOI by Synchrotron Radiation Double-Crystal Topography and High-Resolution Triple-Axis X-Ray Diffraction
马通达 1屠海令 1胡广勇 2邵贝羚 2刘安生2
作者信息
- 1. 北京有色金属研究总院,国家半导体材料工程研究中心,北京,100088
- 2. 北京有色金属研究总院,国家有色金属及电子材料分析检测中心,北京,100088
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摘要
关键词
同步辐射双晶貌相术/高分辨三轴晶X射线衍射/衍射双峰分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马通达,屠海令,胡广勇,邵贝羚,刘安生..Si/SiGe/Si-SOI异质结构的同步辐射双晶貌相术和高分辨三轴晶X射线衍射[J].半导体学报,2005,26(7):1359-1363,5.
