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原子能科学技术
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半导体器件开管扩散工艺
半导体器件开管扩散工艺
冀海英
原子能科学技术
Issue(2):136,1.
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原子能科学技术
Issue(2)
:136,1.
半导体器件开管扩散工艺
冀海英
1
作者信息
1.
中国原子能科学研究院核技术应用研究所;中国原子能科学研究院核技术应用研究所
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摘要
关键词
反向快恢复
/
整流二极管
/
扩散源
/
半导体工艺
分类
信息技术与安全科学
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冀海英..半导体器件开管扩散工艺[J].原子能科学技术,1998,(2):136,1.
原子能科学技术
OA
北大核心
CSCD
ISSN:
1000-6931
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