光学精密工程2003，Vol.11Issue(2)：136-138,3.
膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析
Effect of film thickness errors on performance of soft X-ray multilayer
摘要
关键词
软X射线/多层膜/膜厚控制误差/反射率分类
通用工业技术引用本文复制引用
王占山..膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析[J].光学精密工程,2003,11(2):136-138,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60178021) （No.60178021）
上海市科技发展基金项目(No.022261049) （No.022261049）
