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基于VO2薄膜非致冷红外探测器性能研究

陈长虹 易新建 张静 熊笔峰

红外与毫米波学报2001,Vol.20Issue(2):136-138,3.
红外与毫米波学报2001,Vol.20Issue(2):136-138,3.

基于VO2薄膜非致冷红外探测器性能研究

CHARACTERIZATION OF UNCOOLED VO2-BASED THIN FILMS BOLOMETER

陈长虹 1易新建 1张静 1熊笔峰1

作者信息

  • 1. 华中科技大学光电工程系,
  • 折叠

摘要

Abstract

An uncooled bolometer based on VO2 thin films deposited by reactive ion-beam sputtering was fabricated. The noise and responsivity for the spectral range 8-12μm were measured at 296K. At the chopper frequency of 30Hz, the device having a detectivity D* of 1.89×108cmHz1/2W-1and a thermal time constant of 0.011s was realized.

关键词

测辐射热探测器/红外/二氧化钒/探测率/响应率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈长虹,易新建,张静,熊笔峰..基于VO2薄膜非致冷红外探测器性能研究[J].红外与毫米波学报,2001,20(2):136-138,3.

基金项目

国家高技术863基金资助项目 ()

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDSCI

1001-9014

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