半导体学报2005，Vol.26Issue(z1)：136-139,4.
InP/InGaAs SHBT器件自对准结构设计和工艺实现
Design and Process for Self-Aligned InP/InGaAs SHBT Structure
摘要
关键词
InP/SHBT/自对准工艺/湿法腐蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李献杰,蔡道民,赵永林,王全树,周州,曾庆明..InP/InGaAs SHBT器件自对准结构设计和工艺实现[J].半导体学报,2005,26(z1):136-139,4.基金项目
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2002AA312040) （批准号:2002AA312040）
