传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1364-1367,4.
静电驱动微梁的节点分析法
A Nodal Analysis Method for An Electrically Actuated Microbeam
李敏 1黄庆安 1李伟华1
作者信息
- 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
- 折叠
摘要
关键词
静电驱动梁/节点法/加权残余法/等效电路/MEMS分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李敏,黄庆安,李伟华..静电驱动微梁的节点分析法[J].传感技术学报,2006,19(5):1364-1367,4.
