物理学报2009，Vol.58Issue(2)：1364-1370,7.
立方氮化硼薄膜的最新研究进展
Comprehensive Survey for the Frontier Disciplines Recent progress in cubic boron nitride film synthesis
摘要
关键词
立方氮化硼薄膜,压缩应力,异质外延,掺杂分类
化学化工引用本文复制引用
杨杭生,聂安民,张健英..立方氮化硼薄膜的最新研究进展[J].物理学报,2009,58(2):1364-1370,7.基金项目
国家自然科学基金(批准号:50772096)、浙江省自然科学基金(批准号:Y405051)、浙江省教育厅(批准号:20061365)和教育部留学回国人员科研启动经费(批准号:[2007]24号)资助的课题. （批准号:50772096）
