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微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究

王建军

人工晶体学报Issue(2)：137,1.
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人工晶体学报Issue(2)：137,1.

微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究

王建军1

作者信息

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摘要

关键词

金刚石薄膜/微波等离子体/化学气相沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

王建军..微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究[J].人工晶体学报,1996,(2):137,1.

基金项目

863高技术计划资助 （）

人工晶体学报

OA北大核心CSCD

1000-985X

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