强激光与粒子束2004，Vol.16Issue(2)：137-140,4.
微光学元件面形的数字刀口检测技术
Digital knife-edge testing technology on micro-optical surface characterization
张艳 1张蓉竹 1董军 1张均 1蔡邦维1
作者信息
- 1. 四川大学,光电科学技术系,四川,成都,610064
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摘要
关键词
微镜列阵/面形检测/刀口检测/数字化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张艳,张蓉竹,董军,张均,蔡邦维..微光学元件面形的数字刀口检测技术[J].强激光与粒子束,2004,16(2):137-140,4.
