半导体学报2007，Vol.28Issue(z1)：137-140,4.
LEC GaAs晶片的表面缺陷与晶体缺陷
Surface Defects and Micro Defects in LEC GaAs Crystal
朱蓉辉 1曾一平 1卜俊鹏 1惠峰 1郑红军 1赵冀 1高永亮1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所,材料中心,北京,100083
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摘要
关键词
GaAs/砷沉淀/微缺陷/抛光晶片/表面缺陷/光散射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱蓉辉,曾一平,卜俊鹏,惠峰,郑红军,赵冀,高永亮..LEC GaAs晶片的表面缺陷与晶体缺陷[J].半导体学报,2007,28(z1):137-140,4.
