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MEMS器件自动优化算法

赖文滨 李伟华

传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1372-1375,4.
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传感技术学报2006，Vol.19Issue(5)：1372-1375,4.

MEMS器件自动优化算法

The Algorithm of Automatic Optimization of MEMS Devices

赖文滨 1李伟华1

作者信息

  • 1. 东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,南京,210096
  • 折叠

摘要

关键词

MEMS器件/自动优化算法/结构参数/悬臂梁

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赖文滨,李伟华..MEMS器件自动优化算法[J].传感技术学报,2006,19(5):1372-1375,4.

基金项目

国家杰出青年科学基金资助项目(50325519) （50325519）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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