人工晶体学报2007，Vol.36Issue(6)：1372-1376,1398,6.
热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究
Microstructure of Poly-Si Thin Films Prepared by Hot-filament Chemical Vapor Deposition at Low-temperature
摘要
关键词
热丝化学气相沉积/多晶硅薄膜/择优取向/晶化率/晶体形貌分类
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王丽春,张贵锋,侯晓多,姜辛..热丝法低温制备多晶硅薄膜微结构的研究[J].人工晶体学报,2007,36(6):1372-1376,1398,6.基金项目
教育部留学回国人员科研启动基金资助项目(No.082038) （No.082038）
